探針臺探針是電測試的接觸媒介,為電子五金元器件。探針臺可以將電探針、光學探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器、半導體測試系統配合來測試芯、半導體器件。這些測試可以很簡單,例如連續性或隔離檢查。也可以很復雜,包括微電路的完整功能測試。可以在將晶圓鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關哪些工藝步驟將缺陷引入產品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應用中很重要。探針臺還可以用于研發、產品開發和故障分析應用。
那么,探針臺探針該如何進行清潔呢?
1、毛刷清潔法:適用范圍:5微米以上探針,微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針
拿一張A4白紙,撕成細長條的形狀,盡量是撕成細長的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔的裝好到夾具上并置于顯微鏡下(體視顯微鏡即可,放大倍數太高無法操作),利用撕下的紙片作為毛刷,輕輕地將探針的沾污物刷下。
2、壓針清潔法:適用范圍所有探針,灰塵比較靠近頭部的情況
拿一張A4白紙,裁成樣品臺大小(或適當的尺寸),固定于樣品臺上。將待清潔的裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下,慢慢下壓探針,待接觸到白紙后,向后移動,多嘗試幾次直到探灰塵脫落。
3、超聲清潔法:適用范圍:所有探針
取適量的蒸餾水置于燒杯內(燒杯大小以適合用戶操作為宜),并放到超聲波清洗機內。打開超聲波清洗機,然后手捏住(注意戴丁腈手套),將針尖放入蒸餾水內,讓震動把灰塵震落,可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀察一次,直到灰塵掉落為止。將 探針臺探針放到適當的位置晾干后即可使用。